|
Это управление источником питания магнетрона для вакуумной машины напыления. Характер нагрузки - собственно плазма или дуга. Для поддержания заданных параметров технологического режима напыления (причем - эти требования различны для различных материалов)необходимо устанавливать (задавать) значение тока с его жесткой стабилизацией. Характеристика ток/напряжение источника должна быть круто падающая ( в идеале-"штыковая"). И при всем при этом необходимо вводить отрицательную составляющую и изменять ее значение по отношению к положительной. Это уже какие-то технологические тонкости.
E-mail: info@telesys.ru