А тут говорят, что для травления хлорным железом лучше позитивный фоторезист
Отправлено
CD_Eater 20 февраля 2007 г. 15:24
В ответ на: Недавнее обсуждение отправлено
Samsony 20 февраля 2007 г. 15:16
Материал подложки. С помощью фоторезистов травят металлы, стекло, кремний. Если используется кислый травитель (хлорное железо, растворы кислот), то целесообразно использовать позитивный фоторезист. Если травитель щелочной, то надо использовать негативный фоторезист, позитивные фоторезисты неустойчивы в щелочных травителях.