Вообще, лучше всего стабильность будет на частоте 1МГц (по опыту с атмегами) и на 5В. На 3.3 та же атмега дает уже другую частоту.. Может быть с буквой L ситуация лучше, но я бы на это не рассчитывал. Кроме того можно калибровать OSCCAL по разной переферии как например часы рельного времени или еще лучше по тому же уарту (измеряя длины импульсов и подгоняя через OSCCAL к требуемой длительности). Читайте аппноты атмела по этому поводу.