[an error occurred while processing this directive]
Кстати, на равне с SOI-пластинами (там кремний(600..900мкм)-оксид(50..200нм)-кремний(50..200 нм)) Есть еще эпитаксиально нарощенный кремний на кремнии... Ну это сродни полевикам с изоляцией переходом и с изоляцией оксидом.
(«Телесистемы»: Конференция «Микроконтроллеры и их применение»)