Отправлено SM 29 октября 2005 г. 02:25 В ответ на: Сорри, повторяю еще раз :) Бес попутал между форматами тегов в разных конфах отправлено SM 29 октября 2005 г. 02:09

формируют тонкий подзатворный оксид, который собственно будет изолировать затворы от каналов полевиков. Затем сверху осаждают поликремний. Затем этот поликремний травят, снимая его там, где он не нужен (где нет ни затвора, ни разводки из поликремния, ни резисторов, сварганенных из него-же. Ну а затем активные области легируют примесями для формирования n+ и p+ стоков/истоков, а оставшийся полисиликон как раз сам закрывает канал от имплантации. Итого получается полевик. Затвор в поликремнии, под ним ничего (просто n или p) по краям +'вые сток-исток, подложка - или собственно вафля, или n-карман, смотря какой полевик. Ну а меж полевиков, точнее меж активных областей (в них не обязательно полевик образуют), как раз и та самая изолирующая канавка, заполненная оксидом кремния.

Ну я опустил всякие там легирования для подправления пороговых напряжений, формирование областей слабого подлегирования областей стока-истока (LDD, Lightly doped drain) и прочие мелочевки...

• Коллега, спасибо, очень познавательно, но на какой пост Вы отвечали :)? — [cm]   (29.10.2005 03:27 83.170.248.33, пустое)
  • Сорри, тормознул. Сейчас почитал предыдущую страницу, ошеломлён, чувство вины испытываю. — [cm]   (29.10.2005 03:44 83.170.248.33, пустое)